Способ и устройство очистки полупроводниковых структур (поиск)

110.00

Артикул: 323 Категория: Метка:

Описание

Способ и устройство очистки полупроводниковых структур от собственных оксидов, пылевых частиц и органических загрязнений. Проведен патентный поиск по рефератам и описаниям изобретений РФ за период 1994 – 2005гг. Проанализировано 196 изобретений, из которых в отчет включено 11 документов. Составлен график патентной активности.

Отзывы

Отзывов пока нет.

Будьте первым, кто оставил отзыв на “Способ и устройство очистки полупроводниковых структур (поиск)”

Ваш e-mail не будет опубликован. Обязательные поля помечены *